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L1/A175.在报告模板中的峰纯度模板框中,双击出现“属性”对话框,在“峰纯度”标签下选择“识别峰”填写对应的ID号,或者选择“色谱图1”填写对应的峰号
・BrKαESC峰的影响,误认为Hg被检测出来了。
HgLα 9.99keV BrKαESC 10.16keV
. 在EDX中,如果有高强度的元素峰值,就可能会有检测器带来的峰(逃逸峰ESC),其峰会干扰目标元素的峰。
仅凭定量分析结果无法做出判断。请务必确认以下两点:
1、定量数值与3σ(标准差×3)的关系
2、通过目标元素的特征峰值确认
判定含有的情况:
定量值> 3 σ同时目的元素有峰
判定不含(小于检测下限)的情况:
定量值< 3 σ,且目标元素无峰
理论检测下限使用3σ的理由:根据实测检测下限的思路,用3σ (3×标准差)来判断检测下限。
请确认峰值
·PbLα(10.55keV)和PbLβ1(12.62keV)的峰值强度。
确认比例
PbLα: PbLβ1≈1:1(普通)
·PbLα强度不约等于PbLβ1强度时可能含有干扰元素。
常见的例子:
PbLα > PbLβ1: As(Kα: 10.53keV)的存在。
◆比较PbLα和PbLβ1的峰值强度。
·PbLα的峰值不约等于PbLβ1的峰值强度
PbLα的峰值位置中包含共存元素产生的干扰峰值。
◆用KLM标记确认干扰峰值。⇒与As相同。
当含量接近0ppm时,X射线强度的波动,出现低于平均强度以下的情况,显示负值。
负值作为0ppm来处理。
因为无法确定是哪一层产生的X射线荧光,所以在所有层都未知的情况下,无法进行分析。
未知层只有1个,其余层已知(膜厚度、组成等)的情况下,通过输入已知层的固定值,有分析的可能性。
定量数值右侧的标准差是根据测量的X射线强度从理论上计算出来的“理论标准差”。
能够求出理论标准差的原因是因为X射线的计量遵循泊松分布,因此可以计算出其理论统计变动。X射线的计量:I[count]和其理论统计变动(标准差):σ的关系由以下公式表示。
将这个理论统计变动转换为含量,就是定量分析结果中显示的标准差。