半导体清洗水中无机微量离子分析

在制造过程中，半导体的表面由超纯水清洗以去除那些会导致金属腐蚀的剩余强酸性离子。清洗水中所含离子的分析对于质量管理非常重要。

这需要在亿分之几 (ppt)的等级进行离子检测。这里显示的是用离子色谱仪对半导体清洗水中微量离子的分析图。

离子色谱仪

此分离／分析仪器被广泛应用于无机离子的定量分析。抑制型的离子色谱仪允许精确到ppb等级的超高灵敏度分析。非抑制型离子色谱仪可支持多种应用。