XPS（X 射线光电子能谱法：X-ray Photoelectron Spectroscopy）作为一种表面分析方法，除了对材料表面上约10 nm 处存在的元素进行定性和定量分析外，还可以分析元素的化学结合状态。该方法因为用软X 射线照射样品，观测在物质内部产生的光电子，因此，被称为非破坏性分析。然而，一些物质可能因为被X 射线照射而受到损伤，表面化学状态会发生改变，进一步导致无法从受损的材料表面得到反映其本来状态的正确数据。因此，了解测试过程中样品受到的损伤非常重要。在这里，我们将为您介绍改变X 射线的照射功率，对同一试样进行测定，评估对试样所造成影响的事例。