本文分别采用单色Al靶、单色Ag靶、双阳极Mg靶作为X射线源表征GaN半导体材料，可以得到三种靶材时的各元素精细谱结果，单色Ag靶作为激发源时可以使Ga LMM俄歇峰与N 1s主峰有效分离，得到准确的化学态分析结果。
- 内容类型:
- 应用报告
- 文章编号:
- XPS-004
- 产品类型:
- X射线光电子能谱仪
- 关键字:
- 高能Ag靶;双阳极Mg靶;单色Al靶;XPS;化学态分析
- 语言:
- 中文
- 文件名:
- AP_News_XPS-004.pdf
- 更新时间:
- 2019年04月17日
本文分别采用单色Al靶、单色Ag靶、双阳极Mg靶作为X射线源表征GaN半导体材料，可以得到三种靶材时的各元素精细谱结果，单色Ag靶作为激发源时可以使Ga LMM俄歇峰与N 1s主峰有效分离，得到准确的化学态分析结果。