X射线光电子能谱（XPS）是一种在距离对样品表面约10 nm的深度范围内，进行元素定性、定量以及分析化学结合状态的表面分析方法。XPS是一种有效的材料表面分析方法，广泛应用于半导体和电池材料等材料的研发领域。另一方面，由于XPS无法检测出氢，因此需要分析表面上的羟基时，仅使用XPS可能难以完成评价。例如，表面的羟基对硅晶圆镜面之间的键合会产生很大影响1)。由于XPS难以明确判别硅的氧化物和氢氧化物，因此同时使用其他科可评价氢含量的表面分析方法，从多角度评价样品可以说是很重要的。
反射式电子能量损失谱（REELS）作为一种可分析化学状态和电子结构的表面分析方法而备受瞩目。其可以实现XPS难以检测的氢，并可共享与XPS共用检测器，因此近年来成为XPS的装置选配件予以配备。
本报告将介绍使用XPS的选配件REELS分析半导体和有机高分子材料的事例。