E3/Q17. EDX定量方法-FP法,是怎样进行定量计算的?

荧光X射线分析法的原理是,只要知道样品的组成(元素及含量),利用测定条件和基本参数(物理常数),可以从理论上计算荧光X射线的强度。FP法就是利用这种理论强度计算,从测定强度中求出组成的方法。

FP法也叫基本参数法

纯理论状态下,物质的量与X射线的强度之间具有一定的函数关系。现实中由于散射、吸收-增强等因素以及晶体衍射效率的变化等等因素造成实测强度与理论强度的不一致,通过校准实测强度与理论强度之间的差异而建立起来的一种以理论参数为主的分析方法。其需要较少的标准样品或仅需要一些纯物质即可以进行半定量-定量分析的计算。

需要考虑:管电压、管电流、靶材、窗厚、窗材、入射角度、出射角度、元素、含量、原子序数、原子量、元素谱线、元素波长、吸收限、质量吸收系数、荧光产额、跃迁比、谱线比、。。。。。。基本参数

FP法通过逐次近似迭代计算进行收敛计算。为了计算理论强度,需要100%归一化,所以各元素的定量值的合计是100%。

 

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EDX定量方法 FP法