積層セラミックコンデンサの元素分布測定

     積層セラミックコンデンサ（MLCC：Multi-Layer Ceramic Capacitor）は、携帯電話や自動車などあらゆる産業の電子 機器に使用され、特に自動車の電動化と自動運転の普及に 伴い需要が拡大しています。その中で、電子機器の更なる 小型化・軽量化・長寿命化の要望に応えるため、MLCCの小 型化と静電容量の大容量化の研究が進められています。静 電容量は、誘電体の誘電率と誘電体の総数に比例し、誘電 体層の厚さに反比例するため、誘電体材料の高誘電率化、 誘電体層の薄層化と多層化が必要となっています。そのた め、微細な多層構造や微量な添加元素の分布の評価が重要 になります。

     本アプリケーションでは、電子線マイクロアナライザ EPMA™（EPMA-8050G）を使用した、MLCCの微量添加元 素などの分析例をご紹介します。