使用麦拉膜的话，Mg的强度会显著降低。请使用聚丙烯薄膜或无膜加压成型的样片。

由于来自X射线管球的RhLα线和ClKα线重叠，在“简单分析”条件下不能检测微量的Cl。

通过追加“S-K”通道的条件进行分析，Cl的检测是可能的。

岛津EDX系列，使用Rh(铑)靶的X射线管球。因此，即使测定不含有Rh的样品，也能观测到来自X射线管球的Rh的特性X射线。

在Cl的分析中，由于来自X射线管球的RhLα线和ClKα线重叠，所以需要使用一级过滤器除去Rh的特性X射线。

1）在真空条件下分析轻元素灵敏度提高。

加膜，样品中含有轻元素的情况下，定量值有问题。

·轻元素的X射线荧光，因为能量低，对薄膜的吸收不能忽视，强度减低。

·考虑到这个衰减影响定量计算，所以要进行薄膜的设定。

·分析后也可以设定薄膜，重新计算。

1、一般来说，准直器直径选与样品尺寸一致。

2、准直器直径与样品尺寸不一致的情况：

   ·只进行定性分析(不进行定量分析)

   ·不存在平衡成分的样品(例如:金属、玻璃等)

   ·用设定了内标修正的工作曲线进行定量的情况

         (例：Rohs分析10 mmΦ条件)

   只限于均质样品

有可能。定量计算中使用的分析线(Kα、Lα等)，是在灵敏度系数条件文件(sysmetal、sysoxide)设定的。

请用灵敏度系数条件文件变更分析线进行重新计算。（需要工程师帮助）

用FP法定量的时候，使用标准样品可以提高定量精度。

使用和未知样品组成相似的标准样品和纯物质。

想更加精确地定量的情况下使用标准样品。

定性FP定量分析，FP定量分析，薄膜分析等。

标准样品用与想作为基准的样品和未知样品组成相似的样品，纯物质等。

标准样品即使是一个点也好，对于像膜厚度测定那样很难使用工作曲线法的分析非常有效。

在使用FP法的定量计算中，如果样品中含有EDX检测不到的元素[C(碳)，H(氢)，O(氧)等]，必须用固定值输入(预先求出EDX无法测定的分量)

设定“平衡”(100%之后的剩余部分)，进行定量计算。

(注)平衡不能设定多重成分。

平衡不同导致定量值的差异，如下图