岛津能量色散X射线荧光在化学镀镍和镀金膜厚测试中的应用

化学镀镍镀金的镍层为Ni和P合金，P含量对镀层的性能至关重要，而外层的Au与P互相干扰，导致一般的膜厚分析仪难以完成对Ni、P含量以及厚度的整体分析。使用高灵敏度以及高分辨的岛津EDX-7000建立了化学镀镍和镀金的膜厚和成分分析方法，解决了P受Au干扰的难题。