傅里叶变换红外光谱分析在半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等方面起到了较大的作用。本文以实际测定为例，介绍了使用岛津IRAffinity-1和衰减全反射附件测定玻璃镀膜（a-SiH）的红外光谱图，计算其薄膜中的氢含量，然后利用岛津分峰软件进行分峰后，计算R因子。
- 内容类型:
- 应用报告
- 文章编号:
- FTIR-026
- 产品类型:
- 傅立叶变换红外光谱仪
- 关键字:
- 傅里叶变换红外光谱仪,а-,Si：H薄膜,分峰软件,氢含量R因子
- 语言:
- 中文
- 文件名:
- AP_News_FTIR-026.pdf
- 文件大小:
- 1437
- 更新时间:
- 2017年08月29日