建立SPM的新测量方法 ZXY测量－克服不擅长的测量

为保证探针‐样品之间恒定的相互作用力，SPM一般采用对样品表面进行扫描的“XY测量”方法获取数据。XY测量具有扫描速度快、平面分辨率高的特点，是各种测量模式的基础。但是，SPM同时也存在对“广视野”、“柔软样品”、“起伏大的样品” 测量困难的缺点。我们已经成功开发了“ZXY测量”以克服这些缺点，现报告如下。