压电材料具有在外界压力下产生变形，进而产生电压的特性。充分利用该特性，压电材料可作为传感器、蜂鸣器、滤波器，在各种工业产品中发挥着重要作用。近年来，随着电子设备、通信设备的小型化，需加大研究力度，进一步提高压电材料的性能。压电材料由均匀自发极化的区域（域）组成。如图1所示，这些域在不同方向极化，对施加电压呈现不同的响应。各域的响应是决定压电材料性能的重要因素。而施加电压引起的纳米级变形也并不少见，需要高灵敏度以评估该响应。本文介绍了使用可以检测出亚纳米级响应的扫描探针显微镜［SPM（AFM）］捕获压电材料对施加电压的微弱响应的案例。