三氯氢硅是生产多晶硅的原料，但其中的微量杂质会大大影响多晶硅的导电性能，从而影响太阳能电池的转换效率。本文建立了气相色谱质谱(GCMS)测定三氯氢硅中的杂质甲基二氯氢硅的方法。甲基二氯氢硅在1~100 ng/mL的范围内，相关系数r大于0.997，且方法的重现性好，相对标准偏差小于3%。
- 内容类型:
- 应用报告
- 文章编号:
- GCMS-057
- 产品类型:
- 气相色谱质谱联用仪
- 关键字:
- 多晶硅,三氯氢硅,甲基二氯氢硅
- 语言:
- 中文
- 文件名:
- AP_News_GCMS-057.pdf
- 文件大小:
- 3831
- 更新时间:
- 2017年08月29日