ICP-OES法测定碳化硅粉末中的微量元素含量

参考GB/T 37254-2018《高纯碳化硅 微量元素的测定》，使用岛津ICPE-9820型电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）分析了碳化硅中多种重金属元素的含量。分析结果显示，该方法各元素检出限为0.005~27.125 mg/kg；相对标准偏差（RSD）0.13%~5.51%，重复性良好，样品加标回收率为90.1%~106%，该方法适用于碳化硅中多元素含量的测定。