参考《GB/T 34972-2017电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》，使用5%HNO3作为吸收液对电子工业用氩气进行样品前处理，并使用岛津ICPMS-2030测试气体中的多元素。分析结果表明，方法检出限0.0002~1.0702 μg/L，准确度好，加标回收率89.5%~108.5%，可满足电子工业用气中金属元素的检测要求。
- 内容类型:
- 应用报告
- 文章编号:
- SSL-CA14-936
- 产品类型:
- 电感耦合等离子体质谱仪
- 关键字:
- ICP-MS;电子工业用气;元素
- 语言:
- 中文
- 文件名:
- AP_News_ICPMS-090
- 更新时间:
- 2019年07月11日