SMX-225CT FPD HR Plus观察碳化硅材料内部结构

本文介绍运用inspeXio SMX-225CT FPD HR Plus微焦点X射线CT系统观察碳化硅材料的内部结构。扫描碳化硅材料后通过岛津公司独有软件MPR立即显示CT截面图，观察内部孔隙缺陷及杂质缺陷。通过VG软件计算碳化硅材料的孔隙率和杂质率，呈现立体效果图。