岛津电子特气分析解决方案

2021年工信部印发关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》的通告，将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体如高纯一氟甲烷等33种气体列为重点新材料。电子特气的发展进入有序的快车道。电子特气的质量管控主要针对纯度的控制，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。岛津公司自进入中国以来，一直积极应对石化、电子气体、工业气体等行业的需要，及时提供整体解决方案，满足用户应用需求。最新推出的《岛津电子特气分析解决方案》，供参考。