傅立叶变换红外光谱仪测试半导体材料硅片中氧碳含量

2022年11月30日

傅立叶变换红外光谱仪广泛应用于半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等领域。本文使用岛津IRXRoss测定半导体材料硅透射率,并根据GB/T 1557-1989、GB/T 1558-1997-T、GB/T 14143-93计算半导体材料硅中的氧碳含量。该方法简单、快速、样品无需前处理,可方便地扫描得到红外谱图,从而得到碳氧相关信息,对硅材料质量控制起到指导作用。
内容类型:
应用报告
产品类型:
光谱仪
语言:
中文
更新时间:
2022年11月30日

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