GCMS法测定半导体洁净室内117种有机污染物含量

2025年7月23日

本文利用岛津GCMS-QP2020 NX气质联用仪结合液氮制冷型大气预浓缩仪,建立了半导体制造厂洁净室内117种有机污染物的测定方法。结果显示:在0.1~10.0 nmol/mol浓度范围内,各组分标准曲线线性良好,相关系数均在0.995以上。以浓度为0.5 nmol/mol的标气连续进样5次,各组分峰面积RSD均小于5%,精密度良好。该方法操作简单,定量数据准确可靠,可用于半导体制造厂洁净室内有机污染物的检测。

内容类型:
应用报告
语言:
中文
更新时间:
2025年07月23日

预览文章

学习更多仪器相关知识,请前往