中国
分析检测仪器
2025年7月23日
本文利用岛津GCMS-QP2020 NX气质联用仪结合液氮制冷型大气预浓缩仪,建立了半导体制造厂洁净室内117种有机污染物的测定方法。结果显示:在0.1~10.0 nmol/mol浓度范围内,各组分标准曲线线性良好,相关系数均在0.995以上。以浓度为0.5 nmol/mol的标气连续进样5次,各组分峰面积RSD均小于5%,精密度良好。该方法操作简单,定量数据准确可靠,可用于半导体制造厂洁净室内有机污染物的检测。
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