气相色谱法（PDHID检测器）测定六氟化硫中的痕量杂质

采用高灵敏度的PDHID检测器，完成一次进样同时分析电子级六氟化硫中的永久性气体（O2、N2、CO、CO2）和氟化碳组分（CF4、C2F6、C3F8）。分析时间在30分钟内，使用目标组分浓度在10ppm左右的标样进行分析，重现RSD≤2%。