中国
分析检测仪器
可以使用EDX测量镀层厚度。
测量方法有2种,为工作曲线法和薄膜FP法。
本次测量的是多层膜的镀层厚度,适用薄膜FP法。
测量镀层膜厚,需要满足以下2点。
①样品的层数、各层的元素信息已知。
②有大于分析直径(准直器直径)的平面。
测量镀层膜厚
镀层膜厚测量条件方法①
镀层膜厚测量条件方法②
镀层膜厚测量条件方法③