XPS深度分析—LiPON固态电解质

柔性全固态薄膜锂电池可以有效解决当前商用锂离子电池的安全性问题，并具有较长的使用寿命，在可穿戴、柔性显示等领域具有非常广阔的应用前景。锂磷氮氧（LiPON）作为固态电解质，具有离子电导率高、热稳定性好和电化学窗口宽等优点，在全固态薄膜电池中有重要的应用价值。本文采用X射线光电子能谱技术（XPS）对LiPON电解质进行深度分析，以研究不同氩离子刻蚀模式对锂离子定量的影响。