类金刚石碳（DLC）膜的质量评价分析

岛津AIRsight红外拉曼显微镜是红外显微镜和拉曼显微镜一体机，一支持单个仪器可以分析的各种零部件、材料，比如碳材料。AIRsight不仅互补了红外光谱法与拉曼光谱法的优缺点，还可以使用两种分析法测定同一样品同一位置，实现高精度定性分析。此外，AIRsight为显微系统，可以精确测定外部有缺陷的零部件微小区域和其他目标位置。本文介绍使用红外拉曼显微镜AIRsight的显微拉曼功能分析沉积在硅晶片上DLC膜的示例。