晶圆片附着痕量有机物分析(GCMS)

与硅片所接触的材料，设备，人员等外界环境都包含有机化合物。在该实例中，一块8英寸硅片被压覆于一块晶片加热板上。晶片表面所产生的挥发性气体可以通过一台GC-MS进行收集和分析。

通常，塑料材质的零配件会检测出包含C12（1-十二碳烯）、环甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯组分。

气相色谱-质谱联用仪

通过加热晶圆片，分析有机物挥发出的气体组分所对应的色谱图，进而对附着于晶片的有机物进行定性分析。样品可以通过一个气体收集器进行采集。此检测系统可以实现ng级样品浓度的定量分析。