I3/Q2. 影响等离子体温度的因素有哪些？

I3/A2.
（1）载气流量：流量增大，中心部位温度下降；
（2）载气的压力：激发温度随载气压力的降低而增加；
（3）频率和输入功率：激发温度随功率增大而增高，近似线性关系，在其他条件相同时，增加频率，放电温度降低；
（4）第三因素的影响：引入低电离电位的释放剂的等离子体，电子温度将增加。
（5）高盐样品会产生激发干扰，改变等离子体成分，影响等离子体温度。