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E3/Q44. 在EDX中进行RoHS分析,含高Br不含有Hg的树脂样品检测出了Hg,这是什么原因?

・BrKαESC峰的影响,误认为Hg被检测出来了。

     HgLα  9.99keV     BrKαESC  10.16keV

 . 在EDX中,如果有高强度的元素峰值,就可能会有检测器带来的峰(逃逸峰ESC),其峰会干扰目标元素的峰。

E3/Q43. EDX进行RoHS分析。 分析的样品中是不可能含Cd和Pb的,但是有相当小的值。 Cd和Pb的值可靠吗?

仅凭定量分析结果无法做出判断。请务必确认以下两点:

1、定量数值与3σ(标准差×3)的关系

2、通过目标元素的特征峰值确认

判定含有的情况:

定量值> 3 σ同时目的元素有峰

判定不含(小于检测下限)的情况:

定量值< 3 σ,且目标元素无峰

理论检测下限使用3σ的理由:根据实测检测下限的思路,用3σ (3×标准差)来判断检测下限。

关键词: RoHS分析 Cd Pb
E3/Q42. RoHS分析中有哪些可能的干扰元素?
E3/Q41. 用EDX进行RoHS分析。可以用Pb(铅)通过PbLα和PbLβ1两种分析线进行定量。 但是,分析某个样品的时候,PbLα: 1910ppm, PbLβ: 417.6 ppm。采用哪个定量数值比较好呢?

请确认峰值

·PbLα(10.55keV)和PbLβ1(12.62keV)的峰值强度。

确认比例

PbLα: PbLβ1≈1:1(普通)

·PbLα强度不约等于PbLβ1强度时可能含有干扰元素。

常见的例子:

PbLα > PbLβ1: As(Kα: 10.53keV)的存在。

◆比较PbLα和PbLβ1的峰值强度。

·PbLα的峰值不约等于PbLβ1的峰值强度

PbLα的峰值位置中包含共存元素产生的干扰峰值。

◆用KLM标记确认干扰峰值。⇒与As相同。

 

E3/Q40. 用工作曲线法进行定量分析。偶尔会出现负值。(例如,Cd: -2.6ppm) 浓度是负数是什么意思?

当含量接近0ppm时,X射线强度的波动,出现低于平均强度以下的情况,显示负值。

负值作为0ppm来处理。

关键词: 浓度负数
E3/Q39. 进行镀层的定量分析,相同的元素在多层都有的情况下,可以测定膜的厚度吗?

因为无法确定是哪一层产生的X射线荧光,所以在所有层都未知的情况下,无法进行分析。

未知层只有1个,其余层已知(膜厚度、组成等)的情况下,通过输入已知层的固定值,有分析的可能性。

E3/Q38. 在定量值的右侧显示了标准差,只分析了一次,为什么会出现标准差呢?

定量数值右侧的标准差是根据测量的X射线强度从理论上计算出来的“理论标准差”。

能够求出理论标准差的原因是因为X射线的计量遵循泊松分布,因此可以计算出其理论统计变动。X射线的计量:I[count]和其理论统计变动(标准差):σ的关系由以下公式表示。

将这个理论统计变动转换为含量,就是定量分析结果中显示的标准差。

关键词: 标准差