2021年工信部印发关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》的通告，将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体如高纯一氟甲烷等33种气体列为重点新材料。电子特气的发展进入有序的快车道。电子特气的质量管控主要针对纯度的控制，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。岛津公司自进入中国以来，一直积极应对石化、电子气体、工业气体等行业的需要，及时提供整体解决方案，满足用户应用需求。最新推出的《岛津电子特气分析解决方案》，供参考。

本文使用岛津气相色谱仪，三阀五柱分离技术，热导检测器（TCD）和氢火焰离子化检测器（FID）建立了一次进样测定草酸酯氧化偶联法煤制乙二醇中偶联工艺气和酯化再生工艺气的亚硝酸甲酯、甲醇、氩气、氮气、一氧化氮、二氧化碳、一氧化碳和氧化亚氮组分的分析方法。多阀多柱和双检测器的配合使用确保了各组分的分离和检测；所以本方法具有重复性和灵敏度良好，分析时间短，操作简单等特点。

本文使用岛津气相色谱仪GC-2014、三阀三柱分离技术、甲烷转化炉(MTN)和FID串联TCD检测器，建立了测定电催化气体中微量，常量一氧化碳和C1-C4的分析方法。阀切放空技术的使用避免了高浓度一氧化碳进入转化炉，影响分离和检测；本方法具有重复性和灵敏度良好，分析时间短，操作简单等特点。

本文采用岛津GC-2014气相色谱仪，建立了在6min内可分析包含硫化氢在内的炼厂气组分的快速分析方法。该方法由四阀八柱系统构成，对重烃反吹合峰，三个检测器同时检测，TCD1分析永久性气体与硫化氢，检出限＜100ppm；TCD2分析氢气，检出限＜20ppm；FID分析烃类，检出限＜5ppm。该方法重复性良好，所有组分峰面积RSD＜1%，可用于石油化工、煤化工工艺过程相似组成气体及天然气分析。

本文使用岛津GC-2014气相色谱仪，双通道，两阀四柱，双TCD系统，结合用户实际情况建立了NF3生产中控样品的连续、在线分析方法，可在12min以内完成对H2、N2、CF4、CO2、N2O等杂质的快速分析，双通道相互独立连接不同采样点，恒温分析可实现全天候连续分析。并充分发挥岛津TCD在低温条件下性能稳定的优势，降低了NF3热分解提高分析准确性。

本文使用岛津GC-2014气相色谱仪结合甲烷转化炉、FID和PDHID检测器建立了高纯氦气中微量杂质的分析方法。采用两个吹扫六通阀自动进样，超纯氦气做载气表现出良好的重现性和检出限。氖气最低检出限可达0.10μL/L，其余10种组分最低检出限均可达0.01μL/L，完全满足GB/T 4844-2011对超纯氦杂质分析的需求。

本文介绍了岛津气相色谱仪GC-2014在光解水制氢中的运用，对产物氢气进行定性定量分析。该方法TCD检测器分析H2,灵敏度高，方法检出限为2.3ppm；重复性RSD%<2%， 是催化评价的可靠手段。

本文主要介绍在GC-2014进样口实现MTO催化反应，并收集反应的气体，通过阀进样实现组分的分析。本装置的进样口衬管装有反应的催化剂，AFC进样口载气提供稳定的气体环境，自动进样器提供液体反应原料。每次自动进样时，原料和催化剂在衬管处接触，反应的气体可以收集，可以进色谱，可以放空，根据实验的需求来选择。