单晶硅圆片上的痕量有机物分析

与单晶硅圆片接触的空气中含有从周边材料，器械以及人身上散发出来的有机物。本例中，我们把一个8英寸的单晶硅圆片紧贴在晶圆加热板上，然后收集单晶硅圆片表面散发出来的挥发性气体，用气相色谱质谱联用仪(GC-MS)进行分析。

塑料部件上产生了C12 (1-Dodecene), cyclic dimethylsiloxane (n=6), 和dicarboxylic acid ester。

气相色谱质谱联用仪

加热单晶硅圆片时，通过测定外围气体中的有机物谱图，可以鉴定圆片上附着的有机物质。取样是通过一个外部气体收集器完成的。本系统可做到ng级的定量。