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分析检测仪器
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G2/A22. 真空度主要取决于三个因素:真空泵的排气性能、真空腔体及腔体内的部件所脱附出的气体、流入真空腔体的载气。对于一个型号的质谱仪,真空泵的排气性能是相对稳定的,真空启动一段时间后,真空腔体内的残留气体以及所脱附出的气体被真空系统排出,这时的真空度主要取决于流入真空腔体的载气。载气流速越大,真空度会越差,此时的真空度近似正比于载气的流速。如下图所示: