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I3/Q2. 影响等离子体温度的因素有哪些?
I3/A2. (1)载气流量:流量增大,中心部位温度下降; (2)载气的压力:激发温度随载气压力的降低而增加; (3)频率和输入功率:激发温度随功率增大而增高,近似线性关系,在其他条件相同时,增加频率,放电温度降低; (4)第三因素的影响:引入低电离电位的释放剂的等离子体,电子温度将增加。 (5)高盐样品会产生激发干扰,改变等离子体成分,影响等离子体温度。
关键词:
等离子体温度