低碳低合金钢齿轮零件通过表面渗碳硬化处理后，能够使表面具有高硬度、高耐磨性及抗疲劳性能的同时保持心部的强韧性。表面渗碳的浓度、渗层深度及梯度分布对于产品的性能影响至关重要。但由于碳属于轻元素，类似于这种低含量的梯度分布变化的测试使用其他仪器测试难以完成，而岛津电子探针（EPMA）由于配置52.5°的高特征X射线取出角，能够更有效地减少基体吸收所带来的影响，具有高灵敏度和优异的检测限特征。

铅黄铜具有一系列优良特性使之在现在工业中应用极为广泛。铅黄铜中铅固溶量极小，主要以游离形式存在。基体的α和β相在不同的温度下具有各自不同的性能特点，在不同的行业及产品上两种相的控制比例也会有所不同。这两种相是由不同含量的铜和锌形成的有限固溶体，平均原子序数差异极小。通过使用岛津电子探针EPMA测试铅黄铜，展示了岛津EPMA配备的背散射电子检测器具有高分辨率特点。

热交换器是汽车内重要的换热部件，由于此部件的工作环境比较复杂，对铝合金的各种性能有着较高的要求，尤其是耐腐蚀性能。通过对铝合金热交换管管壁表面锌扩散处理，能够对热交换铝管起着牺牲阳极的阴极防蚀层的作用。电子探针对此类锌扩散层可以很好地进行测试和表征。

钴粉的应用领域非常广泛。钴粉的形貌、粒径及纯度直接影响到后续产品的质量。本文使用岛津电子探针（EPMA）对某电池公司使用的超细钴粉进行了微观形貌特征观察及成分分析，并对微量添加元素Al的微区元素的分布进行了表征。

电子元器件的失效及潜在的缺陷直接关系到电子产品的可靠性。本文使用岛津电子探针EPMA对电子元器件的铜合金部件不同位置处的肉眼可见变色异常失效进行了解析。结果显示部件表面不同的晶粒度和粗糙度以及腐蚀斑块和刮擦条痕导致局部出现明显的色差。这些局部的变色异常将会导致电子元器件出现导电不良甚至开路的失效问题。相对于常见的扫描电镜SEM+能谱仪EDS，微区分析仪器EPMA对于分析轻元素和微量元素具有更高的灵敏度，对于确认腐蚀介质和污染源能提供更准确的判断依据。

使用岛津电子探针EPMA可对不同类型的光纤进行线、面分析测试。从单根光纤试样的横截面的元素线分布和面分布的测试结果可以观察掺杂元素的含量及扩散分布情况。凭借其在微区分析的强大能力，可以在光纤预制棒、烧缩工艺后质量控制和最终成品光纤复核检验的整个开发及生产流程、残次品的失效分析中发挥重要作用。